インパクト2 フィルター日本インテグリス

交換が容易なフォトレジストのPOUフィルター

超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
専用のマニホールド（別売品）を使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
多様なニーズにお応えできる孔径ラインアップをご用意。

関連リンク - http://www.entegris.com/nihon/ProductGroup_catLMC_…

基本情報インパクト2 フィルター

【主な仕様】
除粒子径：　0.01, 0.02, 0.05, 0.1, 0.2 µm
材　質：　フィルター超高分子量ポリエチレン（疎水性）
　　　　　　サポート高密度ポリエチレン
　　　　　　ハウジング高密度ポリエチレン
最高使用温度：　40 ºC
ホールドアップ容積：　≦ 55 cc

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型番・ブランド名	Impact®
用途／実績例	フォトレジストの使用点ろ過

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取扱企業インパクト2 フィルター

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。