日本インテグリス合同会社 高純度腐食性薬液向けフッ素樹脂製「インテグラ バルブ」
- 最終更新日：2018-05-18 14:37:11.0
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インテグラバルブは、PTFEまたはPFAの接液部で構成された、耐薬品性に優れたダイアフラムバルブです。
外装部には金属部品を全く使用していませんので、過酷な環境でも安心してご使用いただけます。
1/4"〜 1 1/4"のオリフィスサイズ、各種のポートデザインなど、幅広いラインアップをご用意しています。
基本情報高純度腐食性薬液向けフッ素樹脂製「インテグラ バルブ」
【主なラインアップ】
オリフィス： 1/4"、1/2"、3/4"、1"、1 1/4"
操作方式： 手動式、空圧式
デザイン： 二方弁、三方弁、サンプリング
接続： フレアテック、ピュアボンド、NPT
| 価格情報 | お問い合わせ下さい |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | インテグラ (Integra) |
| 用途／実績例 | 半導体製造における高純度薬品の供給ライン |
取扱企業高純度腐食性薬液向けフッ素樹脂製「インテグラ バルブ」
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液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。 表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
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