日本インテグリス合同会社 PFAライニング SUS製 ハイフロー『EP 手動式 バルブ』
- 最終更新日:2021-04-27 15:08:31.0
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高純度薬品向けの耐薬品性に優れたフランジ一体型のPFA
ライニングバルブで、金属のコンタミネーションを嫌うプロセスに最適です。
オリフィスおよび接続配管径が大きく、大流量に対応可能です。
■ 耐腐食性に優れた構成部材
薬液透過の少ない変性PTFEダイアフラムを使用
■ 操作性に優れたデザイン
開閉状態が一目でわかるインジケーター
■ ハンドルロック
誤操作を防止するハンドルロックを標準採用
■ JIS 10K フランジ 15A ~ 50Aから選択可能
■ ISO9001、ISO14000登録認定工場による製品
※詳しくはお気軽にお問合せください。
基本情報PFAライニング SUS製 ハイフロー『EP 手動式 バルブ』
【主な仕様】
接液部: PTFE、PFA
非接液部: ステンレススチール、グラスファイバー含有ポリプロピレン、ポリカーボネート、PPS、EPDM、銅、フッ素ゴム
接続: JIS10K 15A, 20A, 25A, 40A, 50A
最高使用圧力: 689.5 kPa @ 21 °C、414 kPa @ 90 °C
温度範囲: 21 ~ 120 °C (流体温度)
価格情報 | お問い合わせ下さい |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 半導体・液晶製造などの薬液供給ライン |
カタログPFAライニング SUS製 ハイフロー『EP 手動式 バルブ』
取扱企業PFAライニング SUS製 ハイフロー『EP 手動式 バルブ』
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液体・ガスの精密ろ過/精製製品:フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品:イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品:バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御/管理製品:ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護/搬送関連製品:ウェーハ/ディスクシッパー、ウェーハ/ディスクキャリア、ウェーハ/レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品:高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング(イットリア、アルミナ等)、 PECVDコーティング(シリコン、SiC、DLC等)。 表面処理材料・部材関連製品:CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品:各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
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