シリコンウェハ用めっき実験装置セット

2～12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。

布とめっき液の循環を考慮した特殊な水槽と治具で構成されています。専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、1面オーバーフロータイプと、高速撹拌が可能になった2面オーバーフロータイプがあります。直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。 ウェハ用めっき装置として20年の実績があり、多数...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山本鍍金試験器

角槽

角槽

単純な角槽からオーバーフロー角槽まで様々な形、サイズに対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

及び純水槽にはＮ２ガス散気システムを装備 ○バブリングにより各液体の混合と高レベルの洗浄効果を発揮 ○薬液槽はすべてPVC製トレイ上に設置 ○アセトン槽にはSUS製トレイを設け、液ダレやオーバーフロー、 　排水への薬液混入に対処 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

ディップコーター（フィルム精密塗布）

自動精密ディップコーティング装置 約20台の実績

置構成】 ・対象サイズ：Max1000mm□ ・自動搬送ロボット ・LD/ULD ・ディップコーティングユニット：上下駆動・撹拌ユニット ・洗浄ユニット：超音波洗浄・カスケード洗浄・オーバーフロー洗浄 ・乾燥：熱風乾燥...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社