セラミックス製　超精密測定器具【各種器具・冶具カスタマイズ可能】

PR製造現場の基準を決定する超精密測定器具！高硬度のセラミックス製なので経…

セラミックス製の超精密測定器具は『剛性に優れたわみにくい』『硬く、耐摩耗性に優れる』『温度による寸法が少ない』『耐食性に優れ、化学薬品に強い』『軽量』などのセラミックスの特性を活かし、直角度、平行度などをμ単位で超精密加工した直定規、四直角マスター、三次元セラマスターをお届けします。 各種冶具をはじめ、お客様の測定現場に合わせたカスタマイズも受け賜ります。 ※詳しくはお問い合わせいただくか...

メーカー・取り扱い企業： 新東Vセラックス株式会社

無黄変型ウレタン微粒子 「ダイミックビーズ」

PR柔軟性に優れた架橋ウレタン微粒子です。硬質樹脂の応力緩和に貢献します。

ダイミックビーズは懸濁重合反応によって合成するウレタン微粒子です。真球状でマイクロメートルオーダーの粒子径であり、組成や硬さ、粒子径の調整が可能です。 【特長】 ・ウレタンの高い柔軟性と復元性 ・シャープな粒度分布 ・硬質樹脂の応力緩和、低反り、加工時の割れ防止 ・各種有機溶剤に対する優れた分散性 ・架橋微粒子のため、高い耐熱性や湿熱信頼性 ・光拡散性 ・艶消し性...【製品ラインナップ】 粒径...

メーカー・取り扱い企業： 大日精化工業株式会社

最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で1.6-80L/…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8712は、 ●...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

マスフローコントローラ　トラブル事例集

マスフローコントローラのバルブ詰りなどのトラブル事例を掲載！

『マスフローコントローラ　トラブル事例集』は、マスフローコントローラに関する 様々なトラブルの事象、原因、対応等の事例を掲載した事例集です。 【掲載事例】 ■マスフローコントローラのバルブ詰り ...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

マスフローコントローラ用表示付電源　ＳＰ－８３３A

１台で電源供給・流量調整・表示器が可能！設置、配線も簡単に可能！

「ＳＰ－８３３A」は、マスフローコントローラに必要な電源をはじめ、 調節器・表示器といった機能をすべて持ち合わせている流量設定表示器です。 瞬時計測、積算流量表示ができ、警報出力も可能。 流量調整は扱いやすいボリュ...

メーカー・取り扱い企業： ユーアイニクス株式会社

大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー(MFC)

装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントロ…

大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！ 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラで簡単・確実に！

ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御でき…

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける”マス...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

バリアブルレンジ対応マスフローコントローラ　MC-700

低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです

MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

マスフローコントローラ『Type GM51A』

ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削…

『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125"（28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスに...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

マスフローコントローラ『1030/1050』

幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ

『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・...

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社

高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』

Auシール、ピエゾアクチュエータを採用！各種デジタルインターフェイスに…

『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を 実現した高速応答マスフローコントローラです。 リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや 液化ガスにも対応し、流量精度は±1.0% S.P.を保証。 また、DeviceNetやEthe...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

マスフロー制御ユニット『MSU101』

最大で6台まで同時に制御可能！お望みの混合ガスを手軽に生成できます

『MSU101』は、1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフロー コントローラをプログラムコントロールできます。 堀場エステック社製マスフローコントローラ（MFC）をコントロールし、 最大で6台まで同時に制御することが可能。 電源内蔵なので...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスワン

LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスに…

LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ：0.2...10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

エフコン株式会社 会社案内

生産装置への搭載、研究・開発など幅広い分野に対応！流量制御はお任せくだ…

エフコン株式会社は、マスフローコントローラをはじめとする 流量制御機器の製造メーカーです。 マスフローコントローラとは、ガスや液体の質量流量を計測し流量制御を 行う機器であり、高精度な流量計測・制御を求められるプ...

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社

【世界最小の流量計】コリオリ式マスフローメータ/コントローラ

《液体/気体に適応》研究向きな高精度流量計！

品と特長】 ●mini CORI-FLOW質量流量計 →・直接質量計測、流体の物理特性に無関係 　・高精度、高繰返し性 　・容易なレンジ変更(マルチレンジ) ●mini CORI-FLOWマスフローコントローラ →・高速、安定制御 　・PIDコントローラ付インテグレートエレクトニクス 　・コンパクト設計・サーマル式MFCと同じフートプリント 　・外部メタルシール：Kalrezプラ...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

マスフロー　マスフローコントローラ　REC-2324 TYPE

一般産業機器にマッチした２４V駆動の単電源マスフローコントローラーです…

構造としては、磁気追従式となっており、金属テーパー管内のフロートの動きを追従し、正確に外部に指示いたします。...【特徴】 ○センサに巻きつけた抵抗体に電流を流し発熱させます。 ○入口から入ったガスの一部がセンサに流れ込むとセンサの温度分布に変化が起こり、 　これをブリッジ回路で捉え流量出力信号として取り出します。 ○外部から与えられた流量設定信号と比較してそれぞれの信号レベルが 　一致...

メーカー・取り扱い企業： 大阪フローメーター工業株式会社 本社

大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローで…

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、 流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。 ＊保護等級　IP 65　...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

マスフローコントローラー、Alicat社

100msの制御応答、±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い…

★ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 ★流量変化にすばやく追従。高速制御応答により希望の流量を短時間で得ることができます。 ★流量設定はフロントスイッチ操作のほか、アナログ入力、 RS-232C通信による設定も可能です。 ★質量流量 0-5VDC 出力を標準搭載。0-10VDC、1-5VDC、4-20mADCのご指定も可能です。また追加でアナログ第2出力も可能です。 ★微少...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

ローコスト　マスフローコントローラ　SFC280ERC

真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応

ガス・真空・低温機器供給のR＆D、川口液化ケミカル社が取扱う ローコスト・マスフローコントローラのご紹介です...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応…

●CANOpenに対応したMFC ●高速応答（最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内） ●10[ml/min]～1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ ●保護等級IP65...【特長】 ◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行 　ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありませ 　ん。 ◆設置後すぐにガスの制御・流量測...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーし…

とが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

コンパクトディジタル　マスフローコントローラ

300mmウエハープロセスに対応

ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略…

サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

大差圧、大流量もビュルケルトのMFCにお任せください！

ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/m…

70余年、電磁弁・調量弁を扱う老舗流体制御機器メーカーとして培ってきた技術・実績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減！】 ●大差圧（2.2MPa）に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量（2500lN/min (N2)）に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することが...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

液体用マスフローメータ　LM-3000L series

各種液体流量を精密計測します

0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 　 電子回路はデジタル化され、高速...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

マスフローコントローラ/メータ『5850E/iシリーズ』

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測…

『5850E/iシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに 使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、 現代の要求の厳...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

最大50%コストカット！MFCの置き換え提案セミコン2023出展

まだマスフローコントローラ、使ってますか？比例制御電磁弁に置き換えれば…

マスフローコントローラーを使って流量制御を行っている場合、『比例制御電磁弁』に置き換えることで、大幅なコストダウンが実現します。 "無駄を無くしたい""コストダウンしたい”などの課題を解決します。 比例制御電磁弁のカスタム事例集は下記よりDLいただけます。 【課題解決策】 ■0.01～数百L/minまで幅広い流量レンジに対応可能 ■高精度な電磁弁による自動化が可能 ■簡単に使える専用...

メーカー・取り扱い企業： 日本アスコ株式会社

最大50%のコストカット！MFCの置き換えに『比例制御電磁弁』

まだマスフローコントローラ、使ってますか？比例制御電磁弁に置き換えれば…

マスフローコントローラーを使って流量制御を行っている場合、『比例制御電磁弁』に置き換えることで、大幅なコストダウンが実現します。 "無駄を無くしたい""コストダウンしたい”などの課題を解決します。 比例制御電磁弁のカスタム事例集は下記よりDLいただけます。 【課題解決策】 ■0.01～数百L/minまで幅広い流量レンジに対応可能 ■高精度な電磁弁による自動化が可能 ■簡単に使える専用...

メーカー・取り扱い企業： 日本アスコ株式会社

mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケ...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

mini CORI-FLOW 液体分給システム　ポンプシステム

マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

【特長】 ○マスフロー調節計の調整可能PID制御信号（電圧出力信号）で 　ポンプ回転数制御 ○高精度、高安定（ほとんど無脈動） ○ドライランダメージ防止警報機能付 ○流量設定 →アナログ信号：0…5(10...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

マスフローコントローラー『1000シリーズ』

スタート時のオーバーシュートを抑制！低価格の高性能ガス流量制御器

『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化した アナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。 各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野で ご使用頂けます。 また、流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社

サーマル式　液体用マスフローコントローラ　

スルータイプのセンサーをを採用

新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた、液体用マスフローコントローラ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

小形加振機 FG100-6

振動耐久試験が手軽に実施可能な小形加振機

FG100-6はサーボモータと偏心マスを組み合わせた、簡単な構造で大きな加振力・コンパクトな設計・簡単な制御系　を特徴とする、可変振動数・可変起振力型　加振機です。...

メーカー・取り扱い企業： マシンクラフト株式会社

高圧用　スマートシリーズマスフローコントローラ　SLA5850

アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載

特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で30-1500L…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8626は、 ●...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対…

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！ 【1台で何役もこなします！】 ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPa...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

少量から大流量を１台で制御可能なマスフローコントローラ

1台で30-1500L/minを制御できる気体向けマスフローコントロー…

レンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8626は、 ●...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type8711マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8711は、最小20cc/minから制御可能な、微少流量用のマスフローコントローラです。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type8626マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8626は、最大1500L/minまで制御可能な、大流量用のマスフローコントローラです。 保護等級　IP 65　取得機種です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54. 20-1108) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量…

産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 2月26(水)～28(金)の機械要素展に出展いたしますので、ぜひ直接ご覧になってください！ 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広…

産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社