高周波計測器

RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能

・１％の精度で測定が可能。 ・1μsの時間分解能で測定が可能 ・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能 　（Ocye Poly Octiv Suite） ・イオンフラックスが測定可能　（Octiv Suite）...Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。 ・電圧 ・電流 ・フェーズ ・ハーモニクス ・インピーダンス ・イオンフラックス ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

イオンエネルギー測定器

エッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます…

検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。 プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。 - イオンエネルギー分布 - イオンフラックス - イオンカレント - エレクトロンフラックスとエネルギー ...・検出プローブは電極/基板ホルダーに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー