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半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度
す。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部(最大20m)を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置(分解能1μm)を複数個所(最大30箇所)で同時計測。真空専用...
メーカー・取り扱い企業: Temposonics
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