株式会社ピー・ジェイ
最終更新日：2020-09-10 10:47:34.0
10.UCS-Mシリーズ
基本情報10.UCS-Mシリーズ
コンパクト設計・高濾過精度に加えて高耐熱性（460度）を実現したULSI製造用高性能ガスフィルターです。
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。
濾過精度：０.００３μｍ
推奨流量：１５〜２５０Ｌ/ｍｉｎ 各種
設計圧力：１７ＭＰａ（２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃
最大許容差圧：１５ＭＰａ（２,１７５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃
最高許容温度：４６０℃
高濾過精度オールメタルガスフィルター
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。
全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。 （詳細を見る）
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