マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－１２インチ型の製品カタログ03

１２インチ試料台搭載。 マグネトロンターゲット電極で、φ３００ｍｍサイズとφ５０ｍｍサイズが選択可能。

１２インチウェハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング電圧 500V 以下でイオンダメージを軽減するマグネトロン方式を採用。
オートコーティング機能で脱ガスから雰囲気ガス導入・コーティングまで全自動。
試料の出し入れが簡単な前方スライド式試料ステージを搭載。Ag ターゲットを装着すれば、透明フィルムなどの光沢処理も簡単に可能。