リソテックジャパン株式会社
最終更新日:2016-01-06 15:00:15.0
リソグラフィシミュレータ PROLITHの製品カタログ
基本情報リソグラフィシミュレータ PROLITHの製品カタログ
Virtual Lithography Simulator
半導体デバイスリソグラフィプロセス用シミュレータ PROLITH
リソグラフィシミュレータ PROLITH
リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。 (詳細を見る)
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