リソテックジャパン株式会社リソグラフィシミュレータ　PROLITH

Virtual Lithography Simulator

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

【特徴】
○多点CD測定に対応（斜め可）
○液浸リソグラフィ技術に対応
○確率論的モデルを搭載
○3次元マスクに対応

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微細加工プロセス用評価機器/製造装置の開発、製造、販売、輸出入、保守サービス

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