タニムラ　ウエハー用クリーン合紙（クリーンパック品）MK-WSF/WSE

本製品には導電性クリーンフォームMK-CPF を使用しております。
●本製品は製造時に発泡剤を一切使用せず「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。
●一般的な帯電防止材料（ピンクやブルー色）とは違い、半永久的な静電気耐電防止効果を発揮します。
●ピンクやブルーとは違い、帯電防止剤が表面にブリード（析出）することがありません。
●低VOC（揮発性有機化合物）製品であるため金属腐食やフォギングの心配もありません。
●化学発泡剤が原因である「発泡緩衝材（クッション材）特有の臭い」もありません。
※クリーンパック品ではありませんので、必要な場合はエアブローなどの表面清掃を行ってください。 （詳細を見る）

クリーンルーム内では静電気対策を施していない一般製品は持ち込みません。ホコリや粉塵を寄せ集
める為です。 すなわちクリーンルームで使用する樹脂製品は、静電気対策品を使用します。
本製品は導電性PP樹脂を使用しており、表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
また密封性に優れているため蓋を閉めることで完全密閉し、外気から遮断が可能。（6"汎用を除く）
すなわちクリーンな状態を保持したままウエハーを搬送する事ができます。
強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。 （詳細を見る）

ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます
一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。
ウエハーの合紙（挿間紙）を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。
表面にエンボス加工を施したWSEと フラットなWSFの２種類から選択できます。
「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性と剥離性が向上します。
本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー（無塵紙）を使用しています。
それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック（クリーンパック）を行っています。
「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。 （詳細を見る）