株式会社ジェーイーエル
最終更新日：2013-06-25 11:38:33.0
3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
電子機器の製造販売などを行っているジェーイーエルの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できるのが特徴の「3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ」
3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。
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取扱会社 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
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