株式会社ジェーイーエル
最終更新日：2013-06-25 11:38:33.0
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
基本情報真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
電子機器の製造販売などを行っているジェーイーエルの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂ける「真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ」
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）
取扱会社 真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
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