株式会社エイエルエステクノロジー
最終更新日：2019-03-15 09:32:18.0
光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」
基本情報光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」
真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装置
「真空エリプソメーター蒸着装置」は、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能なエリプソメトリー用蒸着装置です。
株式会社エイエルエステクノロジーは、九州大学未来化学創造センター安達研究室様、ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社様のご指導をいただき、真空蒸着装置と光速分光エリプソメータを組み合わせたin-situ エリプソメトリー用蒸着装置の開発に成功しました。本装置は九州大学様（BEANS研究所様）に納入しております。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」
当社では、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能な
「真空エリプソメーター蒸着装置」の設計・製造・販売しております。
【蒸着装置部・主要仕様】
○本体・チャンバー
→蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ）
→エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能 100°/120°/140°
→アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm）
→外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート
→真空廃棄ポート（NW40）1ポート
○基板ホルダー構造
→最大基板サイズ：φ110mm
→基板加熱もしくは基板冷却構造 （詳細を見る）
取扱会社 光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」
■研究用真空装置の製造販売 ・有機EL研究用蒸着装置 ・昇華精製装置 ・キャリアボックス ・試験用チャンバー ・スパッタリング装置 ・UHV排気装置 ・特注真空装置 ・特注真空応用部品 ・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売 ・ULVAC社の扱う真空部品などの販売 ・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計 等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売 （東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務 ・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス） 蒸着ボートの販売
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