光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」エイエルエステクノロジー

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装置

当社では、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能な
「真空エリプソメーター蒸着装置」の設計・製造・販売しております。

【蒸着装置部・主要仕様】
○本体・チャンバー
→蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ）
→エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能　100°/120°/140°
→アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm）
→外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート
→真空廃棄ポート（NW40）1ポート
○基板ホルダー構造
→最大基板サイズ：φ110mm
→基板加熱もしくは基板冷却構造

基本情報光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」

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用途／実績例	【用途】 ○in-situ エリプソメトリー用蒸着装置として ●詳しくはお問い合わせください。

カタログ光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」

取扱企業光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」

株式会社エイエルエステクノロジー

■研究用真空装置の製造販売・有機EL研究用蒸着装置・昇華精製装置・キャリアボックス・試験用チャンバー・スパッタリング装置・UHV排気装置・特注真空装置・特注真空応用部品・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売・ULVAC社の扱う真空部品などの販売・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売　（東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス）　蒸着ボートの販売