チャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」

「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。
ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。
加熱したままでのウェハーの通電耐久テストに使用できます。

【特徴】
○加熱冷却の繰り返しで耐久試験などにも最適
○ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造
○6、8、12（丸型）、□150、□200、□250角型に対応

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