ビューポートシャッター　SFシリーズ

ビューポートシャッター　SFシリーズ

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス
有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止

【特徴】
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
　各種超高真空装置に使用可能
○回転導入機も200℃ベーキング対応の
　RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果あり
○オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能
○簡単な組み替えで開閉方向を変更可能
○特殊サイズフランジの製作も可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。