XYZステージ　XYZシリーズ

XYZステージ　XYZシリーズ

3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機
その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ

【特徴】
○オールメタルシールによりベーキング可能
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
　各種超真空装置に使用可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能
　クロスローラベアリングによる精密移動
○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と
　組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。