アリオス株式会社
最終更新日:2010-02-18 15:05:14.0
マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
基本情報マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です
プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する
アリオス社だからこそできる、柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。
【特徴】
○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射
その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等
多種に渡り製作が可能
○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため
様々なプロセスに対応可能
○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため
ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要
○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター
さらに超高真空まで対応可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です
プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する
アリオス社だからこそできる、柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。
【特徴】
○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射
その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等
多種に渡り製作が可能
○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため
様々なプロセスに対応可能
○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため
ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要
○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター
さらに超高真空まで対応可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
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