RFプラズマ実験装置　RFPC-550

RFプラズマ実験装置　RFPC-550

アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた
プラズマ実験装置のご案内です

プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。

【特徴】
○自動マッチングによる簡単操作
○コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、メンテナンスが容易
○PFに対する、高電圧感電防止のためのインターロックを装備
○高周波漏洩対策、停電等に対しても安全に停止するような機構を装備
○オプションでロードロック機構を追加可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。