RF プラズマ実験装置 RFPC-550
アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた
プラズマ実験装置のご案内です
プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。
【特徴】
○自動マッチングによる簡単操作
○コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、メンテナンスが容易
○PFに対する、高電圧感電防止のためのインターロックを装備
○高周波漏洩対策、停電等に対しても安全に停止するような機構を装備
○オプションでロードロック機構を追加可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報RF プラズマ実験装置 RFPC-550
アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた
プラズマ実験装置のご案内です
プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。
【特徴】
○自動マッチングによる簡単操作
○コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、メンテナンスが容易
○PFに対する、高電圧感電防止のためのインターロックを装備
○高周波漏洩対策、停電等に対しても安全に停止するような機構を装備
○オプションでロードロック機構を追加可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | RFPC-550 |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
カタログRF プラズマ実験装置 RFPC-550
取扱企業RF プラズマ実験装置 RFPC-550
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