SiC半導体評価装置「SemiScope」

「SemiScope」は、1μｍ以下の分解能でフォトルミネッセンス(PL)画像を測定することができるPLイメージング装置です。
試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで、約33億画素の解像度で6インチウェハ全面のPL画像を得ることができます。
SiCウェハの結晶欠陥を可視化。非接触・非破壊検査がPLイメージング法で短時間測定可能です。

【特徴】
○SiC半導体評価装置
○SiCウェハの結晶欠陥を可視化
○非接触、非破壊検査
○PLイメージング法のため短時間測定が可能

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