バッチ式ウェーハ移し換え機『D-Trans』

発塵防止しウェーハを確実に保護！一括移載も可能！

『D-Trans』は、ウェーハ持上げ時の過負荷監視、
トランスファー時の異常監視などによりウェーハを確実に保護する、
バッチ式ウェーハ移し換え機です。

ハンドリング時にモータを加減速制御し、ショックを最小として
発塵を防止します。

【特長】
■全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載
■ウェーハ保持部はV溝形状としウェーハの端面だけをハンドリング
■最適速度制御により、短時間での移載が可能

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。