シナジーオプトシステムズ株式会社　総合カタログ

『光ビームNFP計測装置』は、発光素子・光ファイバ・光導波路・各種光
モジュールの光ビームプロファイル観察・計測から光学特性解析まで幅広く
対応可能な汎用光ビームプロファイラシステムです。

光学系は当社の高機能NFP計測光学系（簡易型NFP計測光学系も使用可能）
を使用し、各種光検出器・光ビーム解析モジュールAP013との組み合わせ
により、さまざまな光デバイスのNFP計測・光ビーム形状観察や光ビーム
プロファイル計測・解析に使用することができます。

また光検出器の選択により、可視域から光通信の1550nm近赤外波長帯まで
さまざまなシステム構築が可能です。

【特長】
■高機能NFP計測光学系　M-Scope type Sを使用
■光検出器の選択により、可視域から近赤外域までの測定に対応可能
■光ビーム解析モジュールAP013との組み合わせにより、
さまざまな光デバイスの計測・解析が可能
■低価格でシステム構築も可能

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『M-Scope type I』は、光照射計測・受光計測・光ビームプロファイル計測
等の多目的な光応用計測用に設計された高機能型光計測用光学系です。

光計測用光ファイバポートと画像処理・解析用画像検出器用ポートを搭載し、
複数の光計測を実現できるほか、目的に応じたさまざまな光学計測用
コンポーネントを増設可能で、計測目的や計測項目、計測タクト等、使用目的
にあわせた光学計測ユニットを容易に構築することが可能です。

測定対象や測定に使用する波長にあわせて最適なレンズや光学部品を選択・
装着することができ、これにより、最適な光学条件で各種測定を行うことが
可能です。

【特長】
■光計測用光ファイバ接続用ポートを搭載
■同軸画像観察ポートを搭載
■測定光のサンプルへの導入位置、受光位置を同軸観察カメラで直接観察可能
■光ビームプロファイル計測も可能
■ビームプロファイル計測等の光ビーム計測用途にも使用可能

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『ウエハレベル光素子特性測定装置』は、VCSELやLEDなどの発光素子、
フォトダイオードや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハ
レベルで解析するシステムです。

当製品は、セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用
プローバシステムと、当社の各種光計測用光学系 M-Scopeシリーズ、測定光源、
測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・
データ収集を行うシステムです。

また、セミオートプローバとの組み合わせにより、ウエハの自動測定に対応することも可能です。

【特長】
■発光素子・受光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能
■各種測定の自動化・高速化・省力化を実現
■当社製光計測用光学系M-Scopeシリーズ各種光学系を搭載可能
■光計測・解析ソフトウエアOptometrics Customized Versionを搭載
■個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能

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『M-Scope typeH』は、5Wクラスの高出力レーザ等の発光ビームプロファイル
計測用のNFP計測光学系です。

計測対象サンプルから出射された光束をビームサンプラーにて約5%程度を
反射させ、その反射光を対物レンズ・結像レンズにて2次元画像検出器に結像
する方式を採用しています。

これにより、高出力レーザの発光ビームプロファイル・ビーム形状を正確に
計測することができ、また、微動ステージと組合せて、光学系を焦点方向に
移動させることにより、ビーム形状の出射方向の変化を測定することも可能
です。

【特長】
■高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰
■最大20倍の観察光学倍率
■同軸落射照明ポートを標準装備
■同軸落射照明装置（オプション）との組合せで顕微鏡画像観察・実像に
よる位置合わせが可能
■光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザNFP
計測システムの構築が可能

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