株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
最終更新日：2017-05-22 15:26:01.0
新登場！R＆D用スパッタ装置『S-QAMシリーズ』
基本情報新登場！R＆D用スパッタ装置『S-QAMシリーズ』
「サンプル作業時間が1/3になった！」コンパクト設計で自動化も推進、研究開発を加速するスパッタ装置。
『S-QAMシリーズ』は、研究開発現場での使い勝手を
最優先に開発した20mm角基板対応の複合スパッタリング装置です。
上位モデルQAMシリーズに搭載されている2インチカソードを小型化し、0.2Pa以下の低圧放電、
ロングスロースパッタ(基板/カソード間距離:150mm)および、さまざまな材料(磁性体、非磁性体、絶縁体など)を
成膜することが可能な1インチカソードを開発することで実現。
カソードの小型化に伴い、ターゲットコストも2インチ比で半分に抑えることが可能です。
※詳しくはカタログをご覧ください。
R＆D用スパッタ装置『QAMシリーズ』※ユーザーボイス進呈中
『QAMシリーズ』は研究開発、材料開発等の小規模実験で要求される様々な機能に対して、
アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のスパッタ装置です。
約1Pa～0.1Paまでの放電維持圧力範囲を持ち、従来より低圧力でスパッタ成膜が可能。
従来に比べ更なる小型化、自動化を実現したうえに、磁性ターゲットにも対応しています。
さらに、20mm角基板対応の『S-QAMシリーズ』も新登場！
研究開発現場での使い勝手を最優先に配慮した新モデルとなっています。
★ただいま、QAMシリーズの「ユーザーボイス」を進呈中！導入の決め手、メリットを紹介しています。
【ユーザーボイス掲載内容】
■東北学院大学工学部電子工学科
「磁性材料学」と「薄膜材料」を専門とする教授が研究内容や『QAM』導入要因を紹介しています。
■産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門
「次世代の半導体メモリー」を研究する主席研究員に導入メリット解説してもらいました。
※詳しくは資料をダウンロードしてご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）
取扱会社 新登場！R＆D用スパッタ装置『S-QAMシリーズ』
ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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