JFEテクノリサーチ株式会社
最終更新日:2017-08-21 13:40:07.0
可搬型膜厚プロフィル測定装置(Line-FiDiCa)
基本情報可搬型膜厚プロフィル測定装置(Line-FiDiCa)
手軽に持ち運ぶことができる膜厚プロフィル測定装置をご紹介いたします
■仕様
型式:FDC-1000L
膜厚:レンジ0.05μm~30μm
分光器:イメージング分光器ImSpector(インスペクター) V10H
測定視野幅:140mm
測定点数:1320点
空間分解能:106μm/画素
測定時間:約1~10秒(測定条件により異なります)
膜厚分解能:1nm(対象物の膜厚ムラの状況によっては1Åも可)
膜厚測定精度:±1%または±5nmの大きい方
測定再現性:0.5%以下
寸法:使用時:W200×D200×H300mm
分解時:W200×D100×H300mm
可搬型膜厚プロフィル測定装置「Line-FiDiCa」のご案内
● 約140mmの線状領域の膜厚分布を1320点測定可能
ハイパースペクトルカメラを使用した測定で、空間軸方向の画素数は1320画素と多いため、従来では考えられないほどに高精細な膜厚の分布を観測することが可能になります。
点測定の膜厚計では読み飛ばしていた微小な膜厚変動を見逃さずに測定するため、突発的な膜厚変化を見つけられるだけではなく、その変化が発生した個所まで見つけ出すことも可能になります。
● 計算された膜厚値を連続的にグラフ表示
1320点の膜厚値をグラフに連続表示することにより、膜厚プロフィルの作る表情を見ることができます。
● 専用の照明を必要としません
ハイパスペクトルカメラでは通ー、常、ライン照明を用いますが、本装置は照明窓を設けて窓内の拡散板で光を拡散させるため、ライン照明を必要としません。
● 小型で軽量な装置のため簡単に持ち運びが可能
軽量なため、持ち運びが楽で、どこででも測定できます。またネジひとつで分解できるため、さらに小型にして持ち運ぶことも可能です。 (詳細を見る)
取扱会社 可搬型膜厚プロフィル測定装置(Line-FiDiCa)
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