株式会社アイテス
最終更新日:2023-01-12 17:18:04.0
微小異物分析のためのサンプリング技術
基本情報微小異物分析のためのサンプリング技術
エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物について、サンプリング技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。
■多層膜中異物の特殊サンプリング技術
1.基板上金属薄膜に埋もれた異物
⇒金属膜エッチング⇒Siウエハ上に載替えサンプリング FT-IR分析
2.多層薄膜中の異物
⇒表面層の切り取り⇒Siウエハ上に載替えサンプリング FT-IR分析
3.多層薄膜中の異物
⇒ミクロトーム/FIB薄片化⇒Siウエハ上に載替えサンプリング FT-IR分析
■さらに強化されたマイクロサンプリングツール
新規導入されたマイクロサンプリングツールは、顕微鏡下でマニュピュレータを用い、正確に狙った異物を捕らえます。
5μmに満たない微小異物でも多数集めてFT-IRにて測定することが可能です。
【成分分析】GC-MS ガスクロマトグラフ質量分析計
島津製作所社製の「GC-MS ガスクロマトグラフ質量分析計」を
導入しました。
試料に含まれる成分の定性・定量を目的とした分析手法の一つで、
部品・部材・残存溶媒や添加剤など、揮発性有機物の定性・定量に
用いられる分析装置です。
測定対象がガス化することが必要条件(沸点300℃未満)となりますが、IRや
RAMANに比べ感度が高い点、GC部での成分分離が可能な点から、混合物の
成分分析に向いています。
【GC-MS装置概要】
■GC-MS本体:GC-2030、GCMS-QP2020 NX
■ヘッドスペースサンプラ:HS-20
■熱分解分析装置:マルチショットパイロライザーPy-3030
■仕様
・検出下限:数ppm(測定対象により様々)
・ヘッドスペース:40~300℃ 試料サイズ13mm×40mm以下
・熱分解分析装置:50~1050℃(EGA測定対応可能) 試料サイズ~4mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
半導体製品の信頼性トータル・ソリューション
【試験・評価・分析・解析】
●信頼性試験
■温度サイクル試験
■冷熱衝撃試験
■高温保存試験
■高度加速寿命試験
■プリコンディショニング
■ホットオイル試験
■In-situ常時測定
■イオンマイグレーション試験
■エレクトロマイグレーション試験
■テストコンサルティンング
●評価試験
■接合強度試験:プル/ シェア試験
■機械的強度試験:振動・衝撃/落下試験/圧縮強度・ズレ強度
■ESD / Latch Up / CDM試験
■電気特性計測
■塩水噴霧試験
●分析・解析
■X線透過観察
■超音波顕微鏡観察
■発光解析(EMS/IR-OBIRCH)
■走査型電子顕微鏡(SEM)
■透過型電子顕微鏡(TEM)
■表面汚染分析(TOF-SIMS)
■異物分析(FT-IR)
(詳細を見る)
品質技術トータルソリューション
●製品ライフサイクル全般をカバーする総合的な技術サービス
電子部品の品質向上のために必要な開発時の原材料評価、信頼性試験と結果解析、出荷後の故障解析と結果の開発・製造現場へのタイムリーなフィードバック、さらには品質問題解決のコンサルティングまで、製品ライフサイクル全体にわたりご支援します。
●信頼性試験の結果を速やかに解析、速報
信頼性試験での不良に対し、豊富で効率的な解析メニューにより的確でタイムリーな原因特定、考察をご支援します。
●必要なサービスを必要なだけご利用ください
決められた評価計画に基づく試験・検査実施から、問題解決のための評価・解析計画立案、結果解析、原因究明とコンサルテーションまで、必要にあわせて自由にご選択頂けます。
(詳細を見る)
イメージング顕微FT-IRによる微小異物の分析
■サービス概要
1.顕微ATR法
約5um以上あれば異物のIRデータ取得可能
2.面分布像
有機物の面内分布の観察が可能
3.時間変化
秒単位で変化する有機物の状態測定が可能 (詳細を見る)
微小異物分析のためのサンプリング技術
■多層膜中異物の特殊サンプリング技術
・基板上金属膜に埋もれた異物
金属膜エッチング⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析
・多層薄膜中の異物
表面層の切り取り⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析
ミクロトーム/FIB 薄片化⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析 (詳細を見る)
液晶ディスプレイの信頼性トータル・ソリューション
信頼性の低い液晶ディスプレイが市場で問題を起こしています。
アイテスでは豊富な経験と最新設備により、信頼性試験のデザインから
試験前後の目視検査を行い、お客様の抱える信頼性問題を解決します。
さらに、故障モードの分類から故障解析、材料分析まで御支援します。 (詳細を見る)
【資料】液晶材料とその分析技術
当資料では、分子構造解析のための分析手法として一例をご紹介しています。
液晶高分子(LCP)をはじめ、IRによる構造解析やラマンによる構造解析、
GC-MS分析による低分子液晶(for LCD)のTICデータ、および検出物質などを
図や表とともに掲載。
量子レベルでの分析解析には、層の厚い技術集団「アイテス」へ、
是非ご相談ください。
【掲載内容(抜粋)】
■液晶高分子(LCP)
■LCP(全芳香族ポリアミド)の構造解析
■IRによる構造解析
■ラマンによる構造解析
■XPS(ESCA)による構造解析
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【資料】化学反応機構研究所 材料変色原因解明事例
当資料は、コーティング剤、複合膜構成素材、各種成形品等に使用される
スーパーエンプラポリアミドイミド(PAI)膜の変色原因を機器分析、
および反応機構により解明した事例をご紹介します。
素材ポリアミドイミドをはじめ、IR装置による分析結果、データ解析、
および反応機構などを掲載。
製品の製造において、原料となる材料の保存安定性は必須であるが、
加工プロセスにおける環境条件が不具合を誘発させることがあります。
ぜひ、ご一読ください。
【掲載内容】
■素材ポリアミドイミドについて
■IR装置による分析結果
■データ解析、および反応機構
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
異物分析のための試料加工技術
エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物は、いち早く
分析することが要求されます。
当社は、各種の試料加工技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。
資料では、多層膜中に埋もれた異物の掘り出しやマイクロ切削ツールの
概要についてご紹介しております。
【マイクロ切削ツール 仕様】
■刃先の幅:50μm又は100μm
■切削可能深さ:2~300μm 程度
■切削対象物:樹脂、ガラス、Siウェハ、金属等
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
ミクロトームによる断面作製
株式会社アイテスでは、ミクロトームによる断面作製を行っています。
「ミクロトーム」は、ガラスやダイヤモンドのナイフで試料を薄くスライスして
TEMやSEM、OMやLM用の断面観察試料を作製する装置です。
硬い材料は苦手ですが、フィルムなど、柔らかい材料の断面作製に適しています。
【断面観察事例】
■液晶偏光板
■アルミ缶
■テレフォンカード
■携帯電話のケース
■フレキシブルケーブル
■ヨーグルトの蓋
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【イメージングFT-IRによる有機多層膜の分析】多層フィルム
ミクロトームで薄片化した有機多層膜を透過法によるFT-IR
イメージングにて有機膜の層構成を調べることが可能です。
資料では、高機能多層フィルム断面のイメージングFT-IR分析
について写真やグラフを用いてご紹介しております。
【高機能多層フィルム断面のイメージングFT-IR分析】
■試料:高機能多層フィルム
■測定領域:透過法/反射法 175μm、ATR法 35μm
■空間分解能(ピクセルサイズ):透過法/反射法 5.5μm、ATR法 1.1μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【イメージングFT-IRによる有機多層膜の分析】アルミ
ATR法によるFT-IRスペクトルをもとに得られたイメージングから、アルミ・
ラミネート・フィルムといった有機多層膜の断面解析を行うことができます。
ATR法(Attenuated Total Reflection)は、分析対象物にマイクロATR結晶を
密着させ、赤外線の全反射により表面付近の分析を行う手法です。
対象物に当てる結晶の屈折率の影響で、見かけの空間分解能が高くなり、
より小さな異物の分析が可能となります。
【ATR法 特長】
■赤外線の全反射により表面付近の分析を行う手法
■対象物に当てる結晶の屈折率の影響で、見かけの空間分解能が高くなる
■より小さな異物の分析が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
FT-IR分析のための液体異物サンプリング技術
従来、液状異物のサンプリングは非常に困難とされて来ました。
FT-IR分析のための液体異物サンプリング技術では、キャピラリーを
⽤いて表⾯張⼒によってサンプリングし、FT-IR分析が可能です。
【サンプリング手順】
■基板上の液体異物
■キャピラリーによるサンプリング
■Siウェハ上に液体を載せ替えFT-IR分析
■キャピラリーにてサンプリング中
■Siウェハに載せ替え
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
FT-IRによる樹脂硬化度の測定
FT-IRスペクトルは、有機材料の結合状態を敏感に反映するため、接着剤の
硬化反応の進行(硬化度)をモニターすることが可能です。
樹脂の硬化度測定の手順は、未反応材料と100%反応後の材料のスペクトルを
比較して、変化する領域を確認します。
未反応材料の硬化度を0%、反応後材料の硬化度を100%とし、測定試料
スペクトルのピーク強度を内挿し、反応率(硬化度)を求めます。
【硬化度測定の手順】
■未反応材料と100%反応後の材料のスペクトルを比較して、
変化する領域を確認
■未反応材料の硬化度を0%、反応後材料の硬化度を100%とする
■測定試料スペクトルのピーク強度を内挿し、反応率(硬化度)を求める
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【保有設備】FIB(Focused Ion Beam)
株式会社アイテスが保有する設備、集束イオンビーム「FIB」をご紹介します。
「FIB(集束イオンビーム)」は、Gaイオンを数μm以下に絞り、ビームを
走査させて試料表面の原子を弾き飛ばしながら微小領域を加工する装置です。
半導体、MEMS、液晶ガラス、ビルドアップ基板など、微小領域の断面加工や
TEM試料の作製が可能です。
【保有設備】
■クロスビームFIB「Carl Zeiss 1540XB」
■シングルビームFIB「SEIKO SMI 2200」
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
樹脂の変質劣化をFT-IR分析で確認してみませんか?
株式会社アイテスでは、樹脂の変質劣化を確認する「FT-IR分析」を
行っております。
樹脂の劣化は、目に見える変色もあれば、見えない変質もあります。
変色では外観変化で把握できますが、見えない変質は強度低下に繋がり、
様々な不具合の起点となります。
IRによる分析は、その変質による分子構造変化を把握する事が可能です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
ナイロン6.10の構造解析
アイテスでは『ナイロン6.10の構造解析』を行っています。
ナイロンはしなやかさを備え、絹に近い感触を持ち、その一方で、
「鋼鉄より強く、クモの糸より細い」という天然繊維にない高い強度や
耐久性を持ちます。
その特長を当社のFT-IR、熱分解GC-MSを使用して分子レベルで
解き明かしていきます。
【ナイロン6.10 界面重合反応機構】
1.塩素の電子吸引により隣接炭素の電子が不足
2.アミンの非共有電子が炭素を求核攻撃する
3.酸素原子が活性化して不安定な中間体を形成
4.塩化水素が脱離して、アミド結合を形成
5.界面重合が進み、ポリマー化
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
化学分析 おまかせサービス
当社で取り扱う『化学分析 おまかせサービス』をご紹介いたします。
製品上の異物やシミなどの成分分析を⾏う際、有機分析が適しているのか、
無機分析が適しているのか、また、有機・無機分析の中でもどの分析が好適
なのか、分析手法の選定についてお困りのお客様へ、一括サービスを提供。
分析装置はそれぞれ測定できる対象が異なるため、情報をもとに、
目的に合った手法を選ぶ必要があります。
【特長】
■結果が得られたデータのみ報告
■結果報告は最大2手法まで
■3手法以上の結果報告をご希望の場合は、別途費用が発生
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 微小異物分析のためのサンプリング技術
【解析・信頼性評価事業】 ■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価 ■研究開発・製造における原材料評価および特性評価 【検査装置開発事業】 ■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売 【電子機器修理事業】 ■産業用機器およびパソコンの修理 【ウェハー加工事業】 ■ウェハー加工サービスおよび販売
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