オープンタイプリニアエンコーダ208960-JD

12月14日(水)～16日(金)、東京ビッグサイトにて開催されるSEMICON Japan 2022において、半導体製造・検査装置向けの各種エンコーダソリューションをご紹介いたします。

見どころ
■Multi-DOF多自由度測定技術
LIP 6000 Dplus: 2自由度測定用高精度インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ
GAP 1081: ギャップ測定用エンコーダ

■リニアエンコーダ
LIC 3100: 高速アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ
MC 15: RSF社製アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ

■高精度角度計測
ERP 1000: 超小型角度エンコーダ
ERO 2000: インクリメンタル角度エンコーダ
MCR 15: RSF社製組込み型アブソリュート角度エンコーダ


半導体・エレクトロニクス産業向けソリューションに特化したマイクロサイトを公開中です。製品プレゼンテーション動画などの詳しい情報をご覧いただけます。

▼マイクロサイトURL▼
https://semiconductor.heidenhain.com/ja （詳細を見る）

■特長
・長いストロークでの絶対位置値測定が可能
・高い分解能
・コンパクト形状
・取付けが簡単で診断機能搭載
・用途に合わせた各種取付け方法が選択可能
・各種シリアルインターフェース対応


■仕様
・精度等級: ±1μm、±3μm、±5μm、±15μm
・最小分解能: ～1nm
・最高走査速度: 600m/min
・測定長: 最長28440mm
・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川 （詳細を見る）

■特長
・長いストロークでの絶対位置測定が可能
・コンパクト形状
・ロールテープによる供給
・LIC 4100と機械的互換性あり
・各種シリアルインターフェース対応


■仕様
・精度等級: ±15μm
・最小分解能: ～10nm
・最高走査速度: 600m/min
・測定長: 最長10m
・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川 （詳細を見る）

■特長
・長いストロークでの絶対位置値測定が可能
・取付け公差が大きい(走査ギャップ0.75mm±0.5mm)
・コンパクト形状
・簡単な位置決め用途用
・各種シリアルインターフェース対応


■仕様
・精度等級: ±15μm
・分解能: 0.1μm、0.05μm
・最高走査速度: 600m/min
・測定長: 最長3020mm
・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川 （詳細を見る）

■特長
・極めて高い位置安定性
・高速制御(2m/s)と長尺対応(最長3ｍ)
・低ポジションノイズ
・大きな取付け公差により容易な取付け
・各種インターフェース対応


■仕様
・信号周期: 0.512μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・最小分解能: 31.25pm
・測定長: 最長3040mm
・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、1Vpp （詳細を見る）

■特長
・超小型形状
・極めて小さい内挿精度
・高速制御と長尺測定用
・リミットスイッチとホーミング機能
・ステータスLED搭載


■仕様
・信号周期: 4μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・内挿精度: ±4nm
・測定長: 最長3040mm
・インターフェース: 1Vpp、TTL （詳細を見る）

■特長
・高精度と高い繰り返し性
・省スペースタイプの走査ヘッドとスケール
・PRECIMET接着テープにより取付けが簡単
・リミットスイッチとホーミング機能
・ステータスLED搭載


■仕様
・信号周期: 4μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・推奨分解能: ～2nm
・測定長: 最長1640mm
・インターフェース: 1Vpp、TTL （詳細を見る）

■特長
・大きな取付け公差
・ステータスLED搭載
・リミットスイッチ機能
・コンパクト形状
・耐環境性に優れたMETALLUR目盛
・各種取付け方法が選択可能


■仕様
・信号周期: 20μm
・精度等級: ±1μm、±3μm、±5μm、±15μm
・推奨分解能: ～0.01μm
・最高走査速度: 600m/min
・測定長: 最長30040mm
・インターフェース: 1Vpp、TTL （詳細を見る）

■特長
・非常に大きな取付け公差
・ロールテープによる供給
・簡単な位置決め用途用
・原点は100mm毎に選択可能
・ステータスLED搭載


■仕様
・信号周期: 200μm
・精度等級: ±15μm
・推奨分解能: ～ 0.1μm
・測定長: 最長10m
・インターフェース: 1Vpp、TTL （詳細を見る）