日本エム・ケー・エス株式会社
最終更新日:2018-07-24 10:19:43.0
インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon(R)』
基本情報インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon(R)』
NF3最大流量8slm、独自のPEOプラズマブロック設計によりプロセス性能と寿命を向上!
「Paragon(R)」は、量産実績のあるMKS低磁場トロイダルプラズマ源の特性を基に、次世代ナノプロセス開発と製造に、より適したデータ転送と制御性を実現しました。
CVDおよびALD/ALEプロセスチャンバークリーニングに対応し、8slmのNFガス流量および最大10Torrの圧力条件においても高い分析効率(>98%)が得られます。
【特長】
■NF最大流量8slm、コンパクトな設計でクリーニング時間短縮
■PEOコーティングを採用した独自のプラズマブロック設計により、プロセス性能と寿命を向上
■RoHS適合、CE、S2、F47
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon(R)』
「Paragon(R)」は、量産実績のあるMKS低磁場トロイダルプラズマ源の特性を基に、次世代ナノプロセス開発と製造に、より適したデータ転送と制御性を実現しました。
CVDおよびALD/ALEプロセスチャンバークリーニングに対応し、8slmのNFガス流量および最大10Torrの圧力条件においても高い分析効率(>98%)が得られます。
【特長】
■NF最大流量8slm、コンパクトな設計でクリーニング時間短縮
■PEOコーティングを採用した独自のプラズマブロック設計により、プロセス性能と寿命を向上
■RoHS適合、CE、S2、F47
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon(R)』
半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。 真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、RGA、プロセスモニター、FTIR、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、RF電源、DC電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。
インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon(R)』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。