日本MEMS株式会社
最終更新日:2020-03-10 15:33:51.0
MEMSファンドリーサービス (ウエハ受託加工サービス)
MEMSファンドリーサービス (ウエハ受託加工サービス)
MEMSの部分工程請負、全体開発試作から量産ファンダリまで幅広く対応します。
2インチや異型の基板から12インチ(300mm)のMEMSラインのネットワークによりあらゆるご要望に対応。
1枚からの露光、エッチング受託加工、成膜サービス等もお気軽にご相談ください。
本格的なMEMS専用ラインでのファンドリーサービスです。
【サービス一覧】
・PZT成膜サービス
スパッタ法で4,5,6,8インチに対応
・Siディープエッチングサービス
2~12インチに対応します
・100℃以下の低温CVD膜付けサービス
2~6インチに対応します。
・8インチ, 12インチMEMSファンドリーサービス
大型チップ向けMEMS製造が可能
※詳細はPDFをダウンロード下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 MEMSファンドリーサービス (ウエハ受託加工サービス)
1.MEMSファンダリサービス (MEMSの部分工程請負、全体開発試作から量産ファンダリまで) (a) 圧力センサー (b) ジャイロ、加速度センサー (c) マイクロミラー (d) 赤外線センサー (e) 医療用流路チップ (f) インクジェットチップ (g) 光通信ファイバー軸受け 等 2.テストウェハ (a) ブランケット膜付きウェハ (b) パターンウェハ及び部分加工 (c) 基板(Si, SiC, LT, LN, サファイア) 3.コンサルタント事業 SAWデバイス歩留向上
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