日新技研株式会社
最終更新日：2010-09-27 16:49:19.0
真空蒸着用 EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型
基本情報真空蒸着用 EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型
真空蒸着用 EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型
第三世代の超多層膜用EB制御電源
NEB-10W型電源の制御盤を簡素化しリーズナブルにした電源
【特長】
○装置の可動状況の把握監視が可能
○独自の残留磁気対策回路搭載
○既存のEBシステムの機能は標準装備で置き換えが可能
○本体は小形コンパクト設計
真空蒸着用 EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型
【真空蒸着用 EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型】
NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。NEB-10W型電源の制御盤を簡素化しリーズナブルにしたものになります。
〈特徴〉
・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！
・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！
・外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能！
・放電抑制装置を標準搭載！
・本体は小型コンパクト設計！
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 真空蒸着用 EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型
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