神港精機株式会社東京支店
最終更新日：2020-04-17 10:45:16.0
簡易実験用蒸着装置カタログ
基本情報簡易実験用蒸着装置カタログ
な基礎実験から製品試作までをカバ－する標準型蒸着装置シリーズ。標準本体に実績豊富な各種オプション機構を追加。個別要求を確実に対応
前扉ＢＯＸタイプで半自動タイプののＡＭＦ型と昇降ベルジャータイプの２機種。
ＡＭＦタイプは１０㎾電子銃を装備。高融点金属や酸化膜セラミックス膜に対応。
昇降ベルジャータイプは抵抗加熱元を多元装備。
各タイプとも基板加熱・基板冷却・多元同時蒸着等各種オプション機構装備可能。
全手動ＥＭタイプもラインナップ幅広い要求に個別対応
簡易実験用スパッタリング装置
当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする
シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。
全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した
簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の
プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。
サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を
行っています。
【特長】
■リーズナブルなコストと高いプロセス性能
■少量生産にも対応可能な高い信頼性
■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応
■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで
プロセス開発をサポート
■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）
高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部（カソード・基板台等）が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れます。 （詳細を見る）
取扱会社 簡易実験用蒸着装置カタログ
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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