フルパネル量産投影露光装置

『CMS（Cerma Micro Stepper）-Ck』は、650×550mmの
フルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。

標準光源として、UV-LED光源を採用。
解像力（L/S）が2μmのインターポーザーをはじめ、
高精細・高精度・高生産性を要求される用途に適しています。

【特長】
■L/S＝1.4/1.4μmからの量産プロセスに対応
■ダイバイダイアライメント＆グローバルアライメント方式
■チップファースト工程にも対応可能
■ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上

※詳しくは資料をご覧ください。また、当社では製品を実際に評価いただける
　クリーンルームも完備。デモをご希望の方はお気軽にご連絡ください。
（ラミネート・塗布、現像の周辺プロセスを含めて対応可能です） （詳細を見る）