ヒーハイスト株式会社本社・埼玉工場
最終更新日:2010-10-22 18:37:25.0
XYθステージ NAF3シリーズ カタログ
基本情報XYθステージ NAF3シリーズ カタログ
XYθステージ NAF3シリーズ カタログ
電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ
XYθステージ NAF3シリーズ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。 (詳細を見る)
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