株式会社ダルトン
最終更新日：2022-10-04 14:18:06.0
ウエハー洗浄装置（バッチ式）
ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。
ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。
【特長】
■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置
■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置
■RCA洗浄装置
■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。
■キャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式等、コストに合わせてお選びいただけます。
■前後装置との受け渡し機構や外部通信機能の追加が可能。
■自動扉や自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能。
■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください。（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど）
■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能。
■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能。
※当社の東京テストセンター（墨田区）にて、テストを実施頂けます（オンライン対応可）
※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）
取扱会社 ウエハー洗浄装置（バッチ式）
研究・検査・医学・教育施設（ドラフトチャンバー・各種実験台・流し台等）およびこれらの施設のプランニング、 製作・施工・販売。 排ガス・廃液処理装置、恒温恒湿室、低温試験室等の設計・製作・施工・販売。 クリーンルーム、バイオクリーンルーム、バイオハザード対策用キャビネット、アイソレーター等の無塵無菌装置、 関連機器の設計・製作・施工・販売。 エッチングブース等、半導体関連機器の設計・製作・施工・販売。 粉粒体加工機械（粉砕、造粒、混合、分級、乾燥、ラボ機 他）の設計・製作・施工・販売。
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