ワイエイシイメカトロニクス株式会社つくば事業所 PV事業部
最終更新日：2021-04-15 17:29:24.0
IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』
IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』
当社の従来製品「IMD III」を使用して薄ウェハの乾燥処理を
行った場合、ウェハとキャリアを分離した際、隣のウェハ同士が
接触する問題が生じ、乾燥不良の原因となっていました。
『IMD IIID』は、純水引き下げで乾燥処理開始後、ウェハ上部が
純水面から出た直後にウェハ上部を保持。
その後、ウェハとキャリアを分離することにより、ウェハ同士の
接触を防止して、キャリアレス乾燥と同等の乾燥能力を提供できます。
【特長】
■ウォーターマークレス乾燥
■純水引き下げ方式によるマランゴニ乾燥
■従来乾燥法では困難な薄ウェハの乾燥
■IPA消費量の削減（10～20cc/1バッチ）
■3”～8”ウェハの乾燥が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』
ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所 PV事業部
【取扱製品】 ■協働ロボットシステム ■バニッシャー ■UVキュア ■ハードディスク搬送機・自動機 ■PV/LED/TP等、その他の搬送機自動機 ■空気清浄機 ■ICハンドラー 200シリーズ ■ICハンドラー 300シリーズ ■ICハンドラ ペルチェ方式 C912P ■ICハンドラー 900シリーズ ■ポゴピン挿入機 ■コンベア搬送・包装機 ■多彩なFA装置 ■太陽電池ウエハー工程用装置 ■太陽電池セル工程用装置 ■IPAベーパー乾燥機 ■純水加温装置 ■精密部品洗浄装置 ■研究開発用装置
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