GCIB(ガスクラスターイオンビーム)による表面改質の受託加工

【GCIBって？】お手持ちの部材をナノレベルで平坦化させます！【表面改質】

東邦化研株式会社では、これまで成膜技術で培った真空のノウハウや、薄膜で得た経験を活かし、薄膜の受託加工サービスに加えて、ＧＣＩＢ(ガスクラスターイオンビーム)による『表面改質』の受託加工サービスを始めました。

ＧＣＩＢ(ガスクラスターイオンビーム)とは？？
対象物の表面状態を、ナノレベルで平坦化させる技術です。

真空中で1,000個単位のAr原子が集まったクラスター(塊)をイオン化・加速させ、対象物に衝突させます。高エネルギーで衝突させたArクラスターは、対象物の表面でクレーターの様に衝突痕が発生します。
この衝突を対象物の表面で繰り返すことで「表面改質」が可能となります。

ＧＣＩＢ技術により、3～10nmの面粗度を1nm程度まで平坦化する事が可能となります。


・対応基板
金属材の他、ＳＵＳ材やガラス基板等、材質に制約はございませんが、樹脂フィルム等は照射による熱が若干高くなる為、別途ご相談ください。

・対応サイズ
標準的な対応サイズは200×200×t20(mm)となります。それ以上大きいものは別途ご相談下さい。