東邦化研株式会社
最終更新日：2021-05-26 14:24:51.0
パターン成膜技術資料
基本情報パターン成膜技術資料
パターン成膜について実例を用いて解説
東邦化研株式会社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる
機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。
金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。
機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！
柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！
薄膜のパターン形成
単にパターニング加工といっても色々あります。
半導体（LSI，センサー等）などで用いられる極微細なパターン（ナノレベルのもの）から、数百ミクロンレベルのガラス基板などに引き廻す配線、センチレベルの特定部位のみ薄膜施工するものまで、必要な部位にのみ薄膜を施工することで、求める機能を発現させることが可能となります。
東邦化研では、Metal Maskや施工後のエッチング等によりお客様の求める特定部位への薄膜施工を行っております。お求めの薄膜の種類や施工する基材の種類、パターニング形状や施工部位形状等によりMaskingする手法をご提案させていただいております。一度ご相談ください。なおご相談の際は、具体的な寸法や図面などがあると、よりスムーズにお話ができるかと思います。また、これからお考えになるような場合でもお気軽にご相談いただければと思います。 （詳細を見る）
取扱会社 パターン成膜技術資料
イオンプレーティング・真空蒸着・スパッタリング・プラズマCVDによる薄膜の受託加工 (機能性薄膜の作製、パターニング加工、表面改質などの受託請負) 【主な適用分野】 ■電気・電子部品：電極膜、絶縁膜、表面保護膜、透明導電膜 など ■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・耐食膜・ボンディングメタル など ■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑 など ■機械部品・金型：耐摩耗・離型性・防蝕・表面硬化 など
パターン成膜技術資料へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
