高密度ラジカルソース『HDRS-114』

『HDRS-114』は、高速結晶成長と高品質結晶成長を両立させる、超高真空の
用途に対応した高密度ラジカルソースです。

従来のラジカル源にはない、ハイブリッドプラズマ源を採用。
従来品比100倍のラジカル供給を達成しました。

当社オリジナルのハイブリッドプラズマ構造が高密度ラジカルを作り出します。

【特長】
■高速結晶成長と高品質結晶成長を両立させる
■超高真空の用途に対応したタイプ
■従来のラジカル源にはない、ハイブリッドプラズマ源を採用
■従来品比100倍のラジカル供給を達成（当社計測）
■当社オリジナルのハイブリッドプラズマ構造が高密度ラジカルを作り出す

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