イワキ半導体プロセス関連機器製品ガイド

『FLPシリーズ』は、独自の駆動メカニズムで低脈動移送を実現したエアー駆動ベローズポンプ。従来品よりもエアー消費量を最大３０％も削減します。

また、ダンパーの組み込みが不要で省スペース。配管作業もカンタンで高価な配管材を減らせるため、トータルコスト削減も可能にします。

【特長】
■脈動を打ち消す独特の駆動メカニズム
■枚葉式洗浄プロセスに適した優れた負荷追従性
■装置の小型・軽量化に貢献

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問合せください。 （詳細を見る）

■高速ストローク
■コンタミフリー設計
■大流量/高圧吐出 （詳細を見る）

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上

イワキより、イワキ薬液補充ポンプ　CFDシリーズのご紹介です。

■□■特長■□■

■ウエハー洗浄液の濃度管理に
優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。

■優れた耐食性
接液部品は全てフッ素樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）で構成され、強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応します。
ポンプ外部は樹脂およびコーティング済みのボルトを使用しています。

■安全設計
圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。
サイホン防止機構により、薬液の流出を防ぎます。
CFD-1T-Bは、ベローズ破損を検知するリークセンサを標準装備しています。

■幅広い吐出量範囲
柔軟な設定が行える仕様で、幅広い吐出量範囲をカバーします。
工場出荷時はCFD-1T-B：1mL/shot、CFD-8T-B：8ml/shotに設定されています。

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。 （詳細を見る）

Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。 （詳細を見る）

■高速ストローク
■コンタミフリー
■幅広い液温範囲・高圧吐出 （詳細を見る）

ダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』は金属タイプと樹脂タイプを合わせ、100を超える豊富な機種を取り揃え。
心臓部のエアー切換方式に、新開発のループドＣスプールと新メカニカル方式を採用することで作動安定性が向上しました。
製造プロセスから半導体、装置・機器搭載まで、幅広くご使用いただけます。

【特長】
■Max.0.7MPa（一部0.85MPa）の高圧吐出
■完全自吸式で呼び水が不要
■圧縮エアーで駆動するため防爆対策は不要
■一貫した国内生産でタイムリーなサービスを提供

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

イワキより、ダイレクトポンプ NRDシリーズのご紹介です。 （詳細を見る）

世界30か国以上で使用されている小型マグネットポンプです。
装置への組込みをはじめ、各種薬液移送に使用されています。

イワキより、イワキマグネットポンプ　MDシリーズのご紹介です。

■□■特長■□■

■液漏れを追放
■豊富な機種
■優れた耐食性
■イージーメンテナンス

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イワキより、マグネットギヤポンプ MDGシリーズのご紹介です。 （詳細を見る）

『イワキマグネットポンプ　MDMシリーズ』はフッ素樹脂製のプロセス用マグネットポンプです。

独自の空運転対応構造（ノンコンタクトシステム）の採用により、空運転・エアー巻込み運転に対する耐久性が大幅に向上しました。

■□■特長■□■
■CFRETFEとPFAタイプを標準化
■優れた耐久構造
■バックプルアウト方式
■高揚程タイプをラインアップ
■ISO規格対応

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『イワキマグネットポンプ　AMPシリーズ』はプロセス仕様のポリプロピレン製マグネットポンプです。

酸・アルカリをはじめとする各種ケミカル液の取扱いはもちろん、工業プロセスポンプとして幅広く活躍できる重仕様設計ポンプです。
■□■特長■□■

■異常運転に強い
異常運転対応構造（ノンコンタクトシステム）採用。

■バックプルアウト方式
配管をしたまま内部点検・部品交換のできるバックプルアウト方式採用。メンテナンスの際、モータを後方へ引き抜いても、ポンプ部のシールが破損しないので液漏れなし。（ベース付きタイプのみ）

■ノンコンタクトシステム
エアー巻込み運転時でもベアリングとリアスラストが接触しない構造。万一接触しても、新採用のリアリングが発熱を最小限に抑えるため、樹脂部の溶解を避けることが可能。

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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SMXシリーズは、高比重液の扱いを考慮したモジュール設計の
自吸式マグネットポンプです。

定評ある当社独自の新機構、セルフラジエーション構造を採用。
異常運転時に発生する摺動熱を効率良く拡散・放熱します。

また、耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用したよこ型
自吸式マグネットポンプ「SMX-Fシリーズ」もございます。

【特長】
■汎用性が向上
■メンテナンスの作業性が向上
■異常運転に強い
■自吸スピードアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ＭＸＭシリーズは耐食性・耐久性・安全性などケミカルポンプに求められる性能をバランス良く備え、ノンコンタクトシステムとセルフラジエーション構造（PAT.）を採用することで異常運転に対する耐久性が大幅に向上しています。 （詳細を見る）

『イワキマグネットポンプ　MX-Fシリーズ』は過酷な条件下でも壊れにくいポンプをコンセプトに開発したマグネットポンプです。

■□■特長■□■

■異常運転に対する耐力アップで、ランニングコスト・メンテナンスコストが大幅に低減。

■２分割式ボリュートケーシングの採用で、高効率を実現。

■堅牢でメンテナンス性に優れたシンプルな構造。

■耐薬品性に優れたフッ素樹脂製。

■ルーズフランジ構造。

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『イワキハイセラポンプ』は、ファインセラミックス製のプランジャを採用。
独特のバルブレス構造で、詰まりやカジリなどのトラブルを追放しました。

吐出精度を高めるミクロン単位の精密加工によって、「超微量の薬液」や
「粘度の高い液体」の注入・充填といった用途に活躍します。

【特長】
■超高精度注入、吐出量精度±0.5％（参考値）
■最高2万mPa・s高粘性液を充填
■真空部への注入、高圧部からの引抜き
■優れた耐食性でさまざまな液体に対応
■コンパクト設計で装置組み込みに最適
■エアーロックのトラブル防止

　※詳しくは、カタログをご覧ください。 （詳細を見る）

■□■特長■□■

■大幅な省レジスト

■多様なコートプロセスに対応

■ダウンタイムの短縮

■コンタミフリー

■高粘度用途に対応（PDS-H115)

詳しくはPDFデータをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。 （詳細を見る）