イワキエアー駆動ベローズポンプ　FS-Nシリーズイワキ

最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ

■高速ストローク
■コンタミフリー設計
■大流量/高圧吐出

基本情報イワキエアー駆動ベローズポンプ　FS-Nシリーズ

【特徴】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化（Max.200spm：FS-80N）により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。

■コンタミフリー設計
接液部にすべてフッ素樹脂を採用したコンタミフリー設計。また、弊社独自のシャフトシールの採用で（特許：FS-80N）、パーティクルの発生が少なくなっています。

■大流量/高圧吐出
供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。

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型番・ブランド名	FS-Nシリーズ
用途／実績例	半導体、液晶製造プロセスでの薬液供給に最適