エムエス機器株式会社
最終更新日:2022-11-08 09:41:56.0
ペルチェチラー 製品総合カタログ
基本情報ペルチェチラー 製品総合カタログ
エムエス機器のペルチェチラーをご紹介!
<ペルチェチラーの特徴>
•フロン等の冷媒を使用しておらず、環境に対する悪影響が無い
•冷凍機を搭載していないため小型、 軽量で騒音・振動 が極めて少ない
•温度応答性がよく、優れた温度安定性
•機械部品が少ないため、故障率が低い
ペルチェ冷却チラー ThermoCube
冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。
コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。
*オプションに関してはお問合せ下さい
(詳細を見る)
消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1201』
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800
ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。
【特長】
■素早い温度応答性と高い温度安定性
■6Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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消費電力大幅削減ペルチェチラー UCシリーズ
超小型、静かな動作音。最も信頼できる電子温調モジュールにより、正確な温度コントロールを提供致します。循環水の温度変化に素早く応答して室温付近の温度制御さえも±0.1℃の温度安定性を維持します。
この手のひらサイズのチラーは装置の内部・上部に容易に設置できます。また、標準装備のRS232Cインターフェィスにより簡単に外部制御をおこなうことができます。
(詳細を見る)
消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack401』
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。
【特長】
■素早い温度応答性と優れた温度安定性
■4Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack800』
ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。
【特長】
■素早い温度応答性と高い温度安定性
■6Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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レーザー装置に最適!ペルチェチラー『ThermoRack401』
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・低振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。
【特長】
■素早い温度応答性と優れた温度安定性
■4Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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レーザー装置に最適!ペルチェチラー『ThermoRack800』
ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命です。
【特長】
■素早い温度応答性と高い温度安定性
■6Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。
【特長】
■素早い温度応答性と優れた温度安定性
■4Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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小型レーザー装置に最適!ペルチェチラー UCシリーズ
超小型、静かな動作音。最も信頼できる電子温調モジュールにより、正確な温度コントロールを提供致します。循環水の温度変化に素早く応答して室温付近の温度制御さえも±0.1℃の温度安定性を維持します。
この手のひらサイズのチラーは装置の内部・上部に容易に設置できます。また、標準装備のRS232Cインターフェィスにより簡単に外部制御をおこなうことができます。
【特徴】
■CCD カメラ
■ダイオードレーザー
■医療機器
■研究機器
■マイクロプレート温度制御
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小型レーザー装置に最適!ペルチェチラー TCubeEdge
冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃~65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。
200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。
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フロン対策はお済みですか? ペルチェチラー UCシリーズ
超小型、静かな動作音。最も信頼できる電子温調モジュールにより、正確な温度コントロールを提供致します。循環水の温度変化に素早く応答して室温付近の温度制御さえも±0.1℃の温度安定性を維持します。
この手のひらサイズのチラーは装置の内部・上部に容易に設置できます。また、標準装備のRS232Cインターフェィスにより簡単に外部制御をおこなうことができます。フロンガス不使用で環境に優しいチラーです。
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消費電力大幅削減ペルチェチラー TCubeEdge
冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃~65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。
200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。
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フロン対策はお済みですか? ペルチェチラー TCubeEdge
冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃~65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。
200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。
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レーザー装置に最適ペルチェチラー ThermoCube
冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。
コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。
*オプションに関してはお問合せ下さい
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー ThermoCube
冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。
コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。
*オプションに関してはお問合せ下さい
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フロン対策はお済みですか?ペルチェチラー ThermoCube
冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。
コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。
*オプションに関してはお問合せ下さい
【特徴】
■半導体製造装置の温度コントロール
■レーザーの冷却
■ガス容器の温度コントロール
■スキャニング電子顕微鏡
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1801』
『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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小型で軽量、低騒音、低振動、コンパクトなノンフロンペルチェチラー
信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が開発した独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常にコンパクトながら高い冷却能力を発揮するチラーです。フロンガスを一切使用しておりませんので、GWP規制による使用制限やフロン管理のための点検作業が不要です。また、機械的部品をほとんど使用しておりませんので、振動や騒音も少なく、摩耗や劣化による不具合を軽減します。装置の組み込みにも最適です。
必要な仕様に応じて複数のラインアップから最適な1台を選択可能です。
・冷却能力 : 160W~600W
・ポンプ : アプリケーションに応じて選択可能(ThermoCube)
・接液部材質 : 異種金億による腐食防止を考慮した材質の選択が可能
(UC、TCube edge、ThermoCube)
・循環液 : 水/エチレングリコール溶液、Koolance、フッ素系溶媒
対応モデルもあります(ThermoCube)
*空冷式 水冷式モデルもあります(ThermoCube)
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フッ素系溶媒対応チラー ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー
フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。
また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。
このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。
<ペルチェ式チラー>
ThermoRack1201/1801
ThermoCube
NIKOLA3K/5K
<冷凍機式チラー>
M-75HFE
・Fluorinert(FC-3283等)、Novec(HFE-7100、HFE-7200等)
Galden (HT-200等)、Opteon(SF10等)など多くのフッ素系溶媒に対応できます
・タンク容量・内部配管容量がわずかなので、高価なフッ素系溶媒の使用量をへらすことができ
イニシャルコストが抑えられます
・密閉構造で貴重なフッ素系溶媒が蒸発しにくいのでランニングコストを抑えることができます
・ペルチェ式チラーモデルは密閉性が高く結露による水分の混入がありません。IPAなどの溶媒で脱水ができないフッ素系溶媒にも好適です (詳細を見る)
省エネ、フロンガス対策チラー ※置き換え事例ハンドブック進呈
Solid State Cooling systems社のペルチェチラー は、高性能なペルチェ素子と独自技術で開発した液体を媒体とする高効率な熱交換プレートを組み合わせることにより、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納入実績があります。
<ペルチェチラーの特徴>
・温室効果ガスフリーで環境に対する悪影響が無い
・小型・軽量で騒音・振動が極めて少ない
・消費電力を最小限に抑えた使い方が出来る
・温度応答性がよく、優れた温度安定性
・機械部品が少ないため、故障率が低い
*置き換え事例をまとめたハンドブックを用意しています
・省エネ効果
・安全対策
・フロン対策
・老朽化対策
・省スペース効果
・低振動効果
(詳細を見る)
ノンフロンペルチェチラー 小型、軽量、低騒音、低振動、省エネ!
信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が開発した独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常にコンパクトながら高い冷却能力を発揮するチラーです。フロンガスを一切使用しておりませんので、GWP規制による使用制限やフロン管理のための点検作業が不要です。また、冷凍機を搭載していないことから、振動や騒音も少なく、摩耗や劣化による不具合を軽減します。装置の組み込みにも適していてお薦めです。
<当社ペルチェチラーの特徴>
・温室効果ガスフリーで環境に対する悪影響が無い
・小型・軽量で騒音・振動が極めて少ない
・消費電力を最小限に抑えた使い方が出来る
・温度応答性がよく、優れた温度安定性
・機械部品が少ないため、故障率が低い
*詳細な製品情報についてお問い合わせください
【展示会 出展情報】
■展示会名:SEMICON JAPAN 2022
■期間:2022年12月14日(水)~12月16日(金)
■会場:東京ビッグサイト(東展示棟・会議棟)
■小間番号:Hall 1 1416 (詳細を見る)
取扱会社 ペルチェチラー 製品総合カタログ
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