フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラーエムエス機器

昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです

フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。
また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。
このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。

＜ペルチェ式チラー＞
ThermoRack1201/1801
ThermoCube
NIKOLA3K/5K
＜冷凍機式チラー＞
M-75HFE

・Fluorinert（FC-3283等）、Novec（HFE-7100、HFE-7200等）
　Galden （HT-200等）、Opteon（SF10等）など多くのフッ素系溶媒に対応できます
・タンク容量・内部配管容量がわずかなので、高価なフッ素系溶媒の使用量をへらすことができ
イニシャルコストが抑えられます
・密閉構造で貴重なフッ素系溶媒が蒸発しにくいのでランニングコストを抑えることができます
・ペルチェ式チラーモデルは密閉性が高く結露による水分の混入がありません。IPAなどの溶媒で脱水ができないフッ素系溶媒にも好適です

関連リンク - https://www.technosaurus.co.jp/products_category/t…

基本情報フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー

＜ThermoRack 1201 / 1801＞
設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃
冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W
ポンプ：14Lpm@0.21MPa
外寸法(WxDxH)mm：483 x 610 x 221

＜Thermo Cube＞
設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション）
冷却能力 @20℃ ：200W～600W@20℃(6モデル）
ポンプ：1Lpm@0.24MPa～3Lpm＠0.2Mpa(９タイプ)
外寸法(WxDxH)mm：280 x 320 x 320

＜NIKOLA3K / 5K＞
設定温度 : -10～80℃
冷却能力 @20℃：(3K) 3000W / (5K) 5000W
ポンプ：38Lpm@0.55MPa
外寸法(WxDxH)mm：566 x 711 x 897

＜M-75HFE＞
設定温度 : -15～35℃
冷却能力 @20℃：1600W
ポンプ：11Lpm@0.42MPa
外寸法(WxDxH)mm：413 x 610 x 664

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用途／実績例	＜アプリケーション＞・ドライエッチング・テスター・ステッパー・電磁石・電子ビーム・レーザー装置