半導体製造プロセスの微量分析に貢献する イオンクロマトグラフィーメソッド

Dionex ICS-6000 HPIC システムは、高い信頼性を備えた高性能のモジュラータイプのイオンクロマトグラフィーシステムです。堅牢なシステム設計により、最大5,000 psiでの操作が可能で、一貫した信頼性の高い結果が得られます。イオンクロマトグラフィーシステムのハイエンドモデルとして、イオン分析の可能性を広げたいユーザーのために設計されています。

【特長】
■高速・高分離・高感度分析
■すべてのアプリケーションに対応したモジュラータイプ
■キャピラリーIC対応
■溶離液ジェネレーター組み合わせ可能
■2チャンネルのセット可能
■タブレットによる遠隔操作

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

Dionex Integrion HPICシステムは、従来のイオンクロマトグラフが備えた基本性能に加えて、40年の歴史でつちかったノウハウを集結した使いやすさとHPIC、消耗品追跡機能、トラブルシューティングなど様々な機能を兼ね揃えたイオンクロマトグラフです。

ラボにすっきりおさまる一体型で、ドアを全開することで、真正面からほぼすべての消耗品にアクセスができ、お客様の目線に立った使いやすいデザインに仕上げました。

また、分析装置としては斬新なタブレットPCを用いることで、遠隔操作が
可能となり、ラボの外からでも装置のコントロールができ、利便性が向上。イオンクロマトグラフの使用方法が広がります。

【特長】
■シンプルな配管
■一体化構造
■取り外し可能なタブレット
■溶離液ジェネレーター

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産業プロセスの最適化には、信頼性が高く、正確でタイムリーな科学的知見に基づいたモニタリングが欠かせません。ICやHPLCなどのオンライン液体クロマトグラフィーをベースにすることで、多成分分析や複雑なマトリックス下でも目的成分の検出や微量成分の検出も可能になります。その結果、コストのかかるプロセス停止が必要になる前に、プロセスの変動を検知し、各種条件を微調整することで、コスト削減や収益性が向上します。

• ラボからパイロットプラント、製造プラント規模まで柔軟に対応
• ICまたはHPLCと組み合わせ、あらゆる分析対象化合物に対応
• 遠隔モニタリングでラボの生産性向上
• 専用ソフトウエアにより、自動分析とリアルタイムアラートが可能 （詳細を見る）

環境に影響を与える有機フッ素化合物とまだ分析できない前駆体の数が増え続けており、 こうした物質を検出するのに適した分析法を開発することが求められています。
そのため、できるだけ多くのPFASを直接定量できる1つの分析ワークフローに対するニーズが高まりつつあります。
従来のイオンクロマトグラフィー（IC）は非イオン性のパーフルオロアルキル物質（PFAS）を直接分析できません。しかし、自動燃焼イオンクロマトグラフィー（CIC）を使用すれば、AOX などの有機ハロゲン汚染物質を測定できます。
有機ハロゲンの合計のみを測定する従来の滴定AOX 法とは異なり、吸着性有機フッ素化合物の追加情報が得られるだけでなく、ハロゲンのスペシエーションも可能となるCICについてご紹介します。

※今回アプリケーションノート内でご紹介しているイオンクロマトグラフは販売終了となっております。後継機はThermo Scientific Dionex Integrion HPICシステムとなります。
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半導体製造プロセスや完成したデバイスにとって、イオン汚染は腐食、浸食、短絡の原因となる恐れがあるため、大きな懸念です。
イオンクロマトグラフィー（IC）は、半導体業界におけるさまざまなプロセス汚染物質の微量成分と、主要成分を迅速に測定できる効率的な分析手法です。当社のイオンクロマトグラフィーシステムがどのように活用できるかをご紹介いたします。
※詳細はPDF資料をダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

イオンクロマトグラフの使用をおすすめできる産業は以下の通り多岐に渡ります。当社イオンクロマトグラフは高速、高分離を特長としており、これら分野で要求されるイオン化合物、不純物、汚染といった微量分析に適し、研究開発や品質管理で活用いただけます。
以下のような豊富な測定事例をご紹介しておりますので、ぜひ現在お持ちの課題解決、分析業務の効率化にお役立てください。

・半導体
・電池
・電子機器
・化学薬品
・材料
・石油およびガス
・バイオ燃料
・電力 （詳細を見る）

Thermo Scientific Dionex Inuvion ICシステムの特長

•コンパクトでスタイリッシュなデザイン
•機能重視のスマート設計により、特別な工具を使わずメンテナンスが可能
•進化した高性能ポンプテクノロジーとエレクトロニクスにより、分析時間を短縮、結果の品質も向上
•柔軟性の高い多用途のプラットフォームにより現在のニーズとご予算に合わせたシステム構成、また将来的にアップグレードが可能
•Chromeleonソフトウエアによる装置制御と解析

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