3軸高精度位置決めピエゾステージ P-561～P-563

３軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム

PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。

【特徴】
・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
・動作軸：XYZ軸
・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ
・静電容量センサーによる高いリニアリティ
・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
・比類のないスキャニング平坦度
・高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能
・センター開口部66 x 66mm

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。