ピーアイ・ジャパン株式会社本社
最終更新日：2023-06-21 15:47:41.0
PIHera高精度ステージ P-620.Z～P-622.Z
基本情報PIHera高精度ステージ P-620.Z～P-622.Z
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度！
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
PIHera高精度ステージ P-620.Z－P-622.Z
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、
サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）
取扱会社 PIHera高精度ステージ P-620.Z～P-622.Z
PIHera高精度ステージ P-620.Z～P-622.Zへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
