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最終更新日:2023-06-21 16:45:46.0

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ピエゾナノポジショニングステージ P-733.Z

基本情報ピエゾナノポジショニングステージ P-733.Z

高 い平面度と真直度が要求される位置決めに最適!Z軸ピエゾステージ

P-733.Zピエゾ垂直ステージは、100μmのポジショニングおよびスキャニングレンジをサブナノメーターの分解能で提供します。

50 ×50mmのクリアアパーチャは、走査または共焦点顕微鏡法のような用途に理想的です。

これらはセットリング時間が10ミリ秒未満と速く、高いスループット率を実現します。

【特徴】
・移動範囲 100μm
・静電容量センサーで直接計測
・分解能~0.3nm(クローズドループ時)
・開口部50mmx50mm
・追加の自由度を持つ他のバージョンも利用可能
・XY、XYZバージョンあり
・真空対応バージョンも利用可能

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-733.2/3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

P-733.2/3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ 製品画像

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、
高速かつ高精度のナノポジショニング/スキャニングシステムです。

【特徴】
○ストローク:XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に~10μm
○静電容量センサーにより分解能~0.1nmを実現
○直動式の高速バージョン
○真空対応および非磁性バージョン
○パラレル制御によるダイナミクスの向上/多軸の精密制御
○パラレル計測によるアクティブ軌道制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 (詳細を見る

取扱会社 ピエゾナノポジショニングステージ P-733.Z

ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

リニアモータステージ・エアベアリングステージ・ ピエゾステージ・ボイスコイルステージ 計測システム器具及び装置の製造と販売

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