株式会社アプコ

試料破断器『ABK-5』

手軽に破断可能な試料破断器

『ABK-5』は、けがき加工を施した断面観察用試料を、手軽に破断さ せる事が出来る試料破断器です。 けがき加工を施した試料をセットし、破断用ノブをゆっくり回して試 料を破断できる簡単な加工手…

破断装置『AMC-8000』

ケガキ精度±2.5μmを実現！

『AMC-8000』は、シリコン・GaAs等の各種半導体板、液晶基板・マ スク等のガラス材の断面観察試料片を無研磨・短時間で作製する破 断装置です。 ローラーカッターを用いたケガキ加工+専用…

破断装置『AMC-7800』

作業性を大幅に改善！

『AMC-7800』は、マスクガラス・シリコン・SiC・液晶基板・サファ イア基盤などのSEM観察用の断面試料を作製する為の破断装置です。 操作は5ステップのみと簡単で、短い時間で端麗な破断面…

破断装置『AMC-7600』

ケガキ精度±15μmを実現！

『AMC-7600』は、タングステンカーバイトのローラーを用いた、 高精度なSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の破断装置です。 短時間で、高精度ケガキ機構+スキップケガキ機構を採用しており…

イオンポンプバックアップ電源『AIP-38』

最大7日間連続運転可能！停電時も高真空を保持し、故障や排気時間のロスを回避

『AIP-38』は、二次電池を備えたイオンポンプ制御電源です。 停電時、長期休暇時や輸送時に高真空を維持し、故障や排気時間のロスを 回避する事ができます。 対応機種(コネクタ形状)の変更…

小型二次電子検出器『MINI-SED』

コンパクトな設計で省スペースの取付けが可能！装置開発のための電子検出器

小型二次電子検出器『MINI-SED』は、シンチレータタイプの検出器で、 反射電子、二次電子を捕獲し増幅して電気信号として出力します。 コンパクトな設計のため、省スペース化を実現できます。 …

『低加速SEM・計測/解析用電源ユニット』

JIS標準ラックに収納できる！目的に合わせて各ユニットを自由に組み合わせ可能！

『低加速SEM・計測/解析用電源ユニット』は、小型電子線鏡筒 MINI-EOC用の操作電源です。 JIS標準ラックに収納可能で安定性があります。 また、用途に合わせて各ユニットを自由に組み合わ…

高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』

SEM用断面観察試料を簡単に作製！最小±2.5μmの位置精度でのけがきが可能

高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』は、タングステンカーバイドの ローラーを用いたSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の装置です。 加工プロセスは、モニターを見ながらけがき位置のテ…

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能！組込可能な小型電子線鏡筒

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、 既存の装置へ追加する事ができます。 主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速…