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シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
作業者が測定位置を決めフットスイッチにより厚さ測定が可能です。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録することも可能です。
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シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置に移動し、[測定]スイッチ操作により測定します。 θ軸方向は作業者のセッティングによります。 測定値はカウンタに表示されま…
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シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です
ツインアームロボットを使用することにより効率的な動作が可能になり短時間処理が可能になりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。
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シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
排出ステージを2箇所にすることにより、短時間処理が可能になりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。
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シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
ステージを3段式にする事で、より多くのウェーハ処理が可能となりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。
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サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う装置です。
仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。 ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。 また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工…
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画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転することでオリフラ面の直径やノッチの深さにも対応します。 ・カメラ取り付け部分は上下方向に手動調整が可能な機構となっています。
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レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）との比較により直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は…
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抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類
シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分 または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。
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シリコンウェーハを反転移載する装置です。
・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。 ・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。 ・キャリアポートは3箇所…
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シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置です
ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。 従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。
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ウェーハを1枚ずつローディングする装置です。
φ１５０ｍｍ用カセットを２個セットすることができ、装置からの信号により、ウェハーを１枚ずつ装置へ供給します。
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加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し水没させるための装置です
ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。
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φ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出
ラップ加工装置へφ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出しを行う装置です。 取り出したウェーハは1バッチごとに1枚の厚さ測定を行い、仕上がり厚さのOK/NG判定を行います。
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φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。
・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。 ・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。
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